三坐标测量机所配备的量测探头以往均以接触式触发探头为主。经过二十多年来的使用经验，工业界发觉此类探头的适用性有其极限。对一般由基本几何形状（如平面、圆筒、圆弧）所组成的规则形状工件而言，较适合由此类探头来量测。然而对于曲面工件的尺寸量测，此类探头的限制问题，也一直为人所提出及探讨的。非接触扫描系统的陆续问世，解决了触发式探头的限制问题，曲面工件的量测在速度上也大为提升。使用非接触式扫描系统，可以无需后段数据处理而进行以扫描数据直接加工，而接触式感测头须克服刀具半径补偿问题，故一定需要后续数据处理。非接触式扫描技术能够蓬勃发展的原因正是因为它有着以下两点三坐标测量仪不具备的因素：

（1）没有接触式扫描后造成形变的不良效果

（2）高速而精确的扫描效果。